发明名称 ドーパントを投入し注入するためのドーパント漏斗
摘要 ドーパントペレットをドーパントディスペンサの注入チューブの中に投入するためのドーパント漏斗が開示される。ドーパント漏斗は、リストリクタを通じてシャフトと接続されたカップを有する。カップは、ランダム配向のドーパントペレットを保持する。リストリクタは、カップから出てくるドーパントペレットの量および配向を計量する。シャフトは、ドーパントペレットをカップから注入チューブへ配給するために、リストリクタと整列している。
申请公布号 JP2016501824(A) 申请公布日期 2016.01.21
申请号 JP20150549736 申请日期 2013.12.19
申请人 サンエディソン・セミコンダクター・リミテッドSunEdison Semiconductor Limited 发明人 ジョン・デイビッド・ヒルカー;スティーブン・エル・キンベル
分类号 C30B15/04 主分类号 C30B15/04
代理机构 代理人
主权项
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