发明名称 |
一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的刚性层及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的刚性层及其制备方法,其组分与重量百分比的比例如下:磨料0.5%~10%,光固化树脂5%~45%,活性稀释剂5%~41%,光引发剂4%~7%,促进剂0.05%~5%,表面性能调节剂0.05%~3%,辅助剂0.05%~5%,填料1%~4%,颜料0.02%。本发明操作过程简单、成本低廉,易于产业化和推广应用,具有广阔的市场前景,经济效益和社会效益显著。 |
申请公布号 |
CN105150120A |
申请公布日期 |
2015.12.16 |
申请号 |
CN201510554465.6 |
申请日期 |
2015.09.01 |
申请人 |
河南科技学院 |
发明人 |
苏建修;李勇峰;王占奎;姚建国;张骞;王雅慧;郑;付成果 |
分类号 |
B24D3/00(2006.01)I;B24D18/00(2006.01)I |
主分类号 |
B24D3/00(2006.01)I |
代理机构 |
新乡市平原专利有限责任公司 41107 |
代理人 |
吕振安 |
主权项 |
一种Roll‑to‑Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的刚性层,其特征在于:其组分与重量百分比的比例如下:磨料 0.5%~10%,光固化树脂 5%~45%,活性稀释剂 5%~41%,光引发剂 4%~7%,促进剂 0.05%~5%,表面性能调节剂 0.05%~3%, 辅助剂 0.05%~5%, 填料 1%~4%, 颜料 0.02%。 |
地址 |
453003 河南省新乡市华兰大道东段河南科技学院机电学院 |