加热器区块及利用所述加热器区块的基板热处理装置;HEATER BLOCK AND SUBSTRATE HEAT TREATMENT APPARATUS USING SAME

摘要

本发明提供一种加热器区块及利用所述加热器区块的基板热处理装置。所述加热器区块包括加热灯，所述加热灯用以将热量传递至包括具有不同长度的短边与长边的矩形基板，所述加热灯包括多个灯泡。所述灯泡被排列成使平行于所述矩形基板的短边安置的所述灯泡的数目与平行于所述矩形基板的长边安置的所述灯泡的数目彼此相同。