磁测量装置

摘要

本发明提供一种可以测量薄板状且高矫顽力的磁性体试样的微小区域的矫顽力和矫顽力分布的磁场测量装置。其中，对磁性体试样(5)施加第1方向的磁场并使其大致饱和磁化。接着，在施加了与第1磁场相反的方向的第2磁场之后，由测量部(2)扫描磁性体试样(5)的表面，由此检测磁性体试样(5)的起因于剩磁的泄漏磁通。在一边使施加于磁性体试样(5)的第2磁场强度渐增一边重复由测量部(2)进行的测定，并得到从磁性体试样(5)泄漏的磁场强度变为最大的第2磁场，并对磁性体试样(5)施加相当于矫顽力的磁场而大致一半量的磁化反转的情况下，基于退磁场(Hd)为最小且泄漏至外部的磁通为最大的判断来得到磁性体试样(5)的矫顽力。

主权项

一种磁场测量装置，其特征在于：是一种测量薄板状的磁性体试样的矫顽力的磁场测量装置，具备：第1磁场产生部，其对所述磁性体试样施加第1方向的磁场来进行大致饱和磁化；第2磁场产生部，其对所述磁性体试样施加与所述第1方向相反的反方向的磁场来进行退磁；测量部，其测量起因于被所述第2磁场产生部退磁后的所述磁性体试样的剩磁的泄漏磁通；以及矫顽力判定部，其控制所述第1和第2磁场产生部以及所述测量部的动作，得到依次变更所述反方向的磁场的大小时的所述泄漏磁通，并以该泄漏磁通最大时的所述磁场大小为基础作为所述磁性体试样的矫顽力而输出。