| 摘要 |
<p>본 고안은 단결정 및 다결정 웨이퍼 겸용 트레이에 관한 것으로, 구체적으로는 CVD 제조공정 중 단결정 웨이퍼 또는 다결정 웨이퍼를 이송할 시 각각 사용되는 트레이를 단결정 웨이퍼 또는 다결정 웨이퍼 종류에 구애받지 않고 사용될 수 있도록 하여 사본 고안은 CVD 제조 공정 중 복수의 웨이퍼를 이송할 시 사용되는 트레이에 있어서, 중간부에 장방형의 통공(11)이 형성되고, 상기 통공의 가장자리 영역 상부에 통공보다 넓은 면적으로 형성되는 다결정 웨이퍼 안착부와, 상기 통공과 다결정 웨이퍼 안착부의 중간부에 형성되고, 다결정 웨이퍼 안착부와 동일한 면적으로 형성되되, 네 귀가 챔퍼(chamfer)된 챔퍼부가 형성되는 팔각형상의 단결정 웨이퍼 안착부로 형성되는 웨이퍼 안착부가 복수로 형성되는 것을 특징으로 한다.용성이 증대되는 단결정 및 다결정 웨이퍼 겸용 트레이에 관한 것이다.</p> |
