探测器及探针卡之针尖硏磨装置

摘要

提供一种可将针尖研磨面确实地推压至探针卡之各探测针的探测器。具备有探针卡(16)(该探针卡(16)，系具有复数个探测针(17))的探测器(10)，系具备有针尖研磨单元(24)，针尖研磨单元(24)，系具有：WAPP(28)，接触于针尖；及支持构件(27)，支撑该WAPP(28)，在WAPP(28)的上面，系设置有包裹片(29)，WAPP(28)，系具有形成于底面(30)的复数个凹部(31)，支持构件(27)，系具有形成于顶棚面(32)的复数个凸部(33)，在WAPP(28)往退避位置移动后，各凸部(33)，系嵌合于各凹部(31)，在WAPP(28)往接触位置移动后，各凸部(33)的顶部，系抵接于未在底面(30)形成凹部(31)的部分。