| 发明名称 | 一种应用在半导体测试设备上的图像识别设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种应用在半导体测试设备上的图像识别设备，其包括管镜、照明组件和探测器，其特征在于，还包括：镜头组，所述镜头组包括至少两个镜头；至少两个上下连接的分光组件，所述分光组件用于把来自所述照明组件的照明光束折/反射到与该分光组件相对应的镜头中，并从所述对应的镜头中获取图像；光路切换组件，所述光路切换组件用于开通或关闭各个镜头与分光组件之间的光路，从而实现镜头的选择；其中，所述分光组件中连接在最上层的分光组件与所述管镜连接，所述分光组件最终将不同镜头的图像光束耦合至管镜中，由探测器接收成像。 | ||
| 申请公布号 | CN104977721A | 申请公布日期 | 2015.10.14 |
| 申请号 | CN201410147823.7 | 申请日期 | 2014.04.14 |
| 申请人 | 睿励科学仪器（上海）有限公司 | 发明人 | 叶薇薇;李宇 |
| 分类号 | G02B27/10(2006.01)I;G02B27/00(2006.01)I | 主分类号 | G02B27/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 郑立柱 |
| 主权项 | 一种应用在半导体测试设备上的图像识别设备，其包括管镜、照明组件和探测器，其特征在于，还包括：镜头组，所述镜头组包括至少两个镜头；至少两个上下连接的分光组件，所述分光组件用于把来自所述照明组件的照明光束折/反射到与该分光组件相对应的镜头中，并从所述对应的镜头中获取图像；光路切换组件，所述光路切换组件用于开通或关闭各个镜头与分光组件之间的光路，从而实现镜头的选择；其中，所述分光组件中连接在最上层的分光组件与所述管镜相连接，所述分光组件最终将不同镜头的图像光束耦合至管镜中，由探测器接收成像。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区华佗路68号张江创业园6幢 | ||