工作台装置及输送装置

摘要

工作台装置（100）包括：第1构件（1）；第2构件（2）；第1引导装置（4），其以通过第1构件的移动使第2构件沿与第1轴线平行的方向移动的方式引导第2构件；工作台（10），其支承于第2构件；第1可动构件（31），其连接于工作台的第1部位；第2可动构件（32），其连接于第2部位；第1轴承构件（5），其以能够使第1可动构件移动的方式支承第1可动构件；第2轴承构件（5），其以能够使第2可动构件移动的方式支承第2可动构件；致动器（7），其产生用于使第1构件移动的动力；以及重力补偿装置（60），其包括向第1可动构件的第1下表面所面对的第1空间供给气体的第1供给部（621）、用于调整来自第1供给部的气体供给量的第1调整部（661）、向第2可动构件的第2下表面所面对的第2空间供给气体的第2供给部（622）以及用于调整来自第2供给部的气体供给量的第2调整部（662），该重力补偿装置（60）能够调整第1空间的压力和第2空间的压力。

主权项

一种工作台装置，其中，该工作台装置包括：第1构件，其能够在水平面内移动；第2构件，其能够相对于上述第1构件相对移动；第1引导装置，其至少一部分配置于上述第1构件，并以通过上述第1构件的移动使上述第2构件沿与同上述水平面正交的第1轴线平行的方向移动的方式引导上述第2构件；工作台，其支承于上述第2构件；第1可动构件，其具有第1上表面、第1下表面以及连结上述第1上表面与上述第1下表面的第1侧面，上述第1上表面侧的至少一部分连接于上述工作台的第1部位；第2可动构件，其具有第2上表面、第2下表面以及连结上述第2上表面与上述第2下表面的第2侧面，上述第2上表面侧的至少一部分连接于上述工作台的与上述第1部位不同的第2部位；第1轴承构件，其利用向该第1轴承构件与上述第1可动构件的第1侧面之间供给的气体，在该第1轴承构件与上述第1侧面之间形成气体轴承，以能够使上述第1可动构件沿与上述第1轴线平行的方向移动的方式支承上述第1可动构件；第2轴承构件，其利用向该第2轴承构件与上述第2可动构件的第2侧面之间供给的气体，在该第2轴承构件与上述第2侧面之间形成气体轴承，以能够使上述第2可动构件沿与上述第1轴线平行的方向移动的方式支承上述第2可动构件；致动器，其产生用于使上述第1构件移动的动力；以及重力补偿装置，其包括向上述第1可动构件的第1下表面所面对的第1空间供给气体的第1供给部、用于调整来自上述第1供给部的气体供给量的第1调整部、向上述第2可动构件的第2下表面所面对的第2空间供给气体的第2供给部以及用于调整来自上述第2供给部的气体供给量的第2调整部，该重力补偿装置能够分别调整上述第1空间的压力和上述第2空间的压力。