发明名称 Verfahren zur Herstellung und zum Bestücken eines Schaltungsträgers
摘要 Ein Aspekt der Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Schaltungsträgers (100). Hierzu wird zunächst ein Träger (1) mit einer metallischen Oberfläche (1t) bereitgestellt. An dieser metallischen Oberfläche (1t) wird eine dielektrischen Schicht (2) durch Oxidation des Trägers (1) erzeugt. Auf der dem Träger (1) abgewandten Seite der dielektrischen Schicht (2) wird eine Metallisierungsschicht (3) erzeugt, die eine erste Teilschicht (31) und eine zweite Teilschicht (32) aufweist, indem auf der dem Träger (1) abgewandten Seite der dielektrischen Schicht (2) die erste Teilschicht (31) erzeugt und nachfolgend auf der der dem Träger (1) abgewandten Seite der ersten Teilschicht (31) die zweite Teilschicht (32) erzeugt wird.
申请公布号 DE102014105000(A1) 申请公布日期 2015.10.08
申请号 DE201410105000 申请日期 2014.04.08
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 HOHLFELD, OLAF;UHLEMANN, ANDRE
分类号 H01L23/14;C23C24/04;C25D7/00;C25D11/02;H01L21/58;H01L21/60;H01L23/36;H01L23/48;H05K1/05;H05K3/44 主分类号 H01L23/14
代理机构 代理人
主权项
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