发明名称 |
Verfahren zur Herstellung und zum Bestücken eines Schaltungsträgers |
摘要 |
Ein Aspekt der Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Schaltungsträgers (100). Hierzu wird zunächst ein Träger (1) mit einer metallischen Oberfläche (1t) bereitgestellt. An dieser metallischen Oberfläche (1t) wird eine dielektrischen Schicht (2) durch Oxidation des Trägers (1) erzeugt. Auf der dem Träger (1) abgewandten Seite der dielektrischen Schicht (2) wird eine Metallisierungsschicht (3) erzeugt, die eine erste Teilschicht (31) und eine zweite Teilschicht (32) aufweist, indem auf der dem Träger (1) abgewandten Seite der dielektrischen Schicht (2) die erste Teilschicht (31) erzeugt und nachfolgend auf der der dem Träger (1) abgewandten Seite der ersten Teilschicht (31) die zweite Teilschicht (32) erzeugt wird. |
申请公布号 |
DE102014105000(A1) |
申请公布日期 |
2015.10.08 |
申请号 |
DE201410105000 |
申请日期 |
2014.04.08 |
申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
HOHLFELD, OLAF;UHLEMANN, ANDRE |
分类号 |
H01L23/14;C23C24/04;C25D7/00;C25D11/02;H01L21/58;H01L21/60;H01L23/36;H01L23/48;H05K1/05;H05K3/44 |
主分类号 |
H01L23/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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