压印微影术制程中之分离技术

摘要

一种用于在一个压印微影术制程期间，将一模板自一固定于一气腔式夹头上的基材分离之系统、方法以及制程。一般来说，由气腔式夹头所提供之真空程度，可以在介于该模板和基材之间的可聚合材料配合塑形期间，以及在该模板和基材分离的期间加以控制。