发明名称 一种SERS基底及其制备方法
摘要 本发明公开了一种SERS基底的制备方法,包括:提供衬底;在所述衬底上形成聚合物层;采用等离子体直接对聚合物层进行轰击,以形成柱状纳米结构;覆盖金属层。该方法形成的SERS基底,可以有效增强拉曼散射信号,工艺简单且可控性强,适用于大规模的商业化生产。
申请公布号 CN104931480A 申请公布日期 2015.09.23
申请号 CN201510338662.4 申请日期 2015.06.17
申请人 中国科学院微电子研究所 发明人 毛海央;唐力程
分类号 G01N21/65(2006.01)I 主分类号 G01N21/65(2006.01)I
代理机构 北京维澳专利代理有限公司 11252 代理人 党丽;江怀勤
主权项 一种SERS基底的制备方法,其特征在于,包括:提供衬底;在所述衬底上形成聚合物层;采用等离子体对聚合物层进行轰击,以形成柱状纳米结构;覆盖金属层。
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号