低温药液清洗装置

摘要

本实用新型提供了一种低温药液清洗装置，涉及半导体晶片工艺技术领域，本实用新型首先通过气体冷却装置对常温气体进行降温冷却，然后将冷却后的气体输送至药液冷却装置内，使常温清洗药液和低温冷却气体之间发生热量交换，从而降低清洗药液温度，最后将冷却后的药液喷射在晶片表面，提高清洗的均匀性，同时减少衬底材料的损失。

主权项

一种低温药液清洗装置，用于对承载在旋转体上的晶片进行清洗，其特征在于，包括：气体冷却装置，用于对常温气体进行冷却，并将冷却后的气体输送至药液冷却装置，包括冷却气体管路、冷却气体管路支架、液氮储液罐以及升降电机；所述冷却气体管路具有U形端部，所述U形端部保持于所述液氮储液罐的液位下方，所述冷却气体管路支架用于固定所述冷却气体管路，所述升降电机用于驱动所述冷却气体管路支架做升降运动；药液冷却装置，用于引入冷却后的气体，并对常温药液进行冷却和输出，包括药液冷却装置外壳、冷却气体排气管路、常温药液管路、内部药液管路以及冷却后药液管路；所述药液冷却装置外壳的一端连接所述冷却气体管路以及常温药液管路，所述药液冷却装置外壳的另一端连接所述冷却气体排气管路以及冷却后药液管路，所述常温药液管路、内部药液管路以及冷却后药液管路相贯通，所述冷却后药液管路上设有用于感测冷却后药液温度的温度传感器；控制单元，其一端与所述温度传感器连接，另一端与所述升降电机连接，用于接收所述温度传感器检测的温度值并控制所述升降电机，以调节所述冷却气体管路的U形端部在液氮储液罐中的长度，进而控制冷却后药液管路中药液的温度。