一种可切换工作模式的MEMS光学扫描探头

摘要

本发明公布了一种可切换工作模式的MEMS光学扫描探头，包括外壳及组装在其内的主体基座；所述主体基座上侧的凹槽内设置有透镜组件，其斜面的凹槽内设置有第一MEMS微镜；所述主体基座下侧的凹槽内设有第二MEMS微镜；光束通过光纤经由透镜组件射入到第一MEMS微镜上，再通过第一MEMS微镜反射到第二MEMS微镜上；外部电路通过控制所述第二MEMS微镜上的电压通断，进而控制所述第二MEMS微镜处于空间内翘曲或空间内平展状态，以实现探头在前向扫描、侧向扫描和侧前向扫描之间任意切换。本发明探头仅采用一个透镜组件，使用双MEMS微镜便可实现多种工作模式的切换，使用更加灵活。

主权项

一种可切换工作模式的MEMS光学扫描探头，包括外壳及组装在其内的主体基座；所述主体基座上侧的凹槽内设置有透镜组件，其斜面的凹槽内设置有第一MEMS微镜；其特征在于，所述主体基座下侧的凹槽内设有第二MEMS微镜；光束通过光纤经由透镜组件射入到第一MEMS微镜上，再通过第一MEMS微镜反射到第二MEMS微镜上；外部电路通过控制所述第二MEMS微镜上的电压通断，进而控制所述第二MEMS微镜处于光路的不同位置实现光路切换，以实现探头在前向扫描、侧扫扫描和侧前向扫描之间任意切换，增大了探头的扫描面积。