一种直流磁控溅射电源

摘要

本实用新型提供了一种直流磁控溅射电源，包括输入整流滤波电路、IGBT全桥逆变电路、高频变压器、输出整流滤波电路，其中，输入整流滤波电路将全桥整流与电容滤波电路结合在一起；IGBT全桥逆变电路的驱动和过流保护电路采用EXB841模块。本实用新型将输入电路部分的整流和滤波整合在一起，降低电路设计的复杂性，同时在IGBT的驱动和过流保护电路上采用EXB841模块，保证其可靠并快速反应，另外又对EXB841模块进行了部分改进，降低了过流检测电压并延长了其使用寿命。

主权项

一种直流磁控溅射电源，包括输入整流滤波电路（1）、IGBT全桥逆变电路（2）、高频变压器（3）、输出整流滤波电路（4），其特征在于：所述输入整流滤波电路（1）的输入端接供电电网，其输出端连接IGBT全桥逆变电路（2）的输入端；所述IGBT全桥逆变电路（2）的输出端连接高频变压器（3）的输入端；所述高频变压器（3）的输出端连接输出整流滤波电路（4）的输入端；所述输入整流滤波电路（1）将全桥整流与电容滤波电路结合在一起；所述IGBT全桥逆变电路（2）还包括IGBT的驱动和过流保护电路；所述IGBT的驱动和过流保护电路采用EXB841模块；所述EXB841模块的快恢复二极管和IGBT的C端串接第一稳压管（5），管脚的2脚和9脚之间外接电阻（6）和第二稳压管（7）。