发明名称 Tauchentfernung eines Bands
摘要 Ausführungsformen, die eine Tauchentfernung eines Bands verwenden, werden beschrieben. Ein Substrat mit einem daran befestigten Substratband wird beschrieben. Das Substrat schließt an dem Substratband befestigte elektrisch leitende Verbinder ein. Ein Fluid wird zwischen dem Substrat und dem Substratband bereitgestellt. Während das Fluid zwischen dem Substrat und dem Substratband ist, wird das Substratband von dem Substrat entfernt. Eine andere Ausführungsform ist eine Vorrichtung, umfassend einen Tauchbehälter, eine Substrataufspannvorrichtung, erste und zweite fixierte Rollen und eine bewegbare Rolle. Die Substrataufspannvorrichtung ist konfiguriert, um ein Substrat zu sichern und das Substrat in dein Tauchbehälter zu platzieren. Die erste fixierte Rolle ist bedienbar, um ein Halteband abzugeben. Die zweite bewegbare Rolle ist bedienbar, um das Halteband zu rollen. Die bewegbare Rolle ist bedienbar, um sich in den Tauchbehälter zu erstrecken und um das Halteband an einem Substratband auf dem Substrat anzuheften.
申请公布号 DE102014019260(A1) 申请公布日期 2015.07.23
申请号 DE20141019260 申请日期 2014.12.19
申请人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD. 发明人 LIU, CHING TASI,;CHANG, FU-CHEN,;LI, CHIEN-CHEN,;LIU, TE LUNG,;LU, KUO LIANG,
分类号 H01L21/301;H01L21/78 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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