电弧式蒸发源

主权项

一种电弧式蒸发源，系具备：靶、环状磁场感应磁铁、以及背面磁场产生源，其特征在于，前述磁场感应磁铁系具有：成为沿着与前述靶之蒸发面正交之方向并且朝向前方或后方之磁化方向的极性；前述背面磁场产生源，系在前述靶之背面侧配置在前述磁场感应磁铁后方，并且沿着前述磁场感应磁铁之磁化方向形成磁力线；前述靶配置成，使前述蒸发面位于前述磁场感应磁铁的前方。