发明名称 流量测量机构以及质流控制器
摘要
申请公布号 TWI491852 申请公布日期 2015.07.11
申请号 TW099133366 申请日期 2010.09.30
申请人 堀场STEC股份有限公司 发明人 林繁之
分类号 G01F1/34;G01F1/684;G05D7/06 主分类号 G01F1/34
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 一种流量测量机构,包括:主体,具有测量对象流体所流经的内部流路;流体阻力构件,切断上述内部流路,并且具有将经切断的上游侧内部流路及下游侧内部流路予以连通的阻力流路;以及流体测量器,对与上述流体的流量相关联的物理量进行侦测,可基于上述流体测量器所侦测的物理量来对上述流体的流量进行计算,该流量测量机构的特征在于:于上述流体阻力构件中贯通形成有连通路径,并且于上述主体与上述流体测量器之间配设有上述流体阻力构件,于该配设状态下,上述内部流路中的任一个流路与设置于上述流体测量器的导入口经由上述连通路径而连通,并且上述内部流路中的另一个流路与上述连通路径经由上述阻力流路而连通,藉由将上述流体测量器安装于上述主体,构成为上述流体阻力构件被挤压。
地址 日本