钟罩清洁化方法、多晶硅的制造方法以及钟罩用干燥装置

摘要

钟罩具备金属性钟罩(1)和用于设置该钟罩(1)的金属性基板(2)，通过填料(3)使容器内部密闭。在基板(2)上连接压力计(4)、气体导入管路(5)、气体排气管路(6)，使钟罩(1)的内部压力的监测以及气体的导入和排气成为可能。在气体排气管路(6)的路线上设置真空泵(7)，通过该真空泵(7)，以使钟罩的内部压力低于水的蒸气压的方式进行减压。通过该真空泵(7)，以使钟罩的内部压力低于水的蒸气压的方式进行减压，由此有效地进行水分除去，在短时间内结束钟罩的干燥。通过本发明，提供提高钟罩内表面的清洁度从而有助于高纯度多晶硅的制造的技术。

主权项

一种多晶硅的制造方法，多次反复进行利用西门子法的多晶硅的析出工序，所述制造方法的特征在于，在所述析出工序结束后且在下一批的析出工序之前，具有对用于所述多晶硅的析出的钟罩进行清洁化的工序，该钟罩的清洁化工序具备：使用水对所述钟罩进行清洗的水清洗工序、继该水清洗工序之后的干燥工序以及所述干燥工序之后使所述钟罩的内压回到大气压的工序，所述干燥工序如下：在所述水清洗工序后，使用具有200Pa以下的真空达到能力的真空泵，进行使所述钟罩内部的气压达到1000Pa以下的减压操作，由此，以使所述钟罩内部达到低于内表面温度下的水的蒸气压的压力的方式进行减压来除去水分，并且将从所述水清洗工序结束后至干燥工序结束的时间设定为1.2小时以下，得到电阻率为1500Ω·cm以上的多晶硅，所述使钟罩的内压回到大气压的工序中，通过向所述钟罩的内部导入露点为‑40℃以下的高纯度惰性气体来使内压回到大气压。