| 摘要 |
<p>복수개의 마이크로파 플라즈마 반응기(8)에 마이크로파 동력을 공급하기 위한 마이크로파 동력 전달 시스템으로서, 이 때 이 마이크로파 동력 전달 시스템이, 마이크로파 공급원(4)에 연결되도록 구성되고 복수개의 마이크로파 플라즈마 반응기의 임피던스를 마이크로파 공급원의 임피던스에 매치(match)시키도록 구성되는 동조기(tuner)(14); 및 동조기에 연결되고 마이크로파를 복수개의 마이크로파 플라즈마 반응기로 또한 마이크로파 플라즈마 반응기로부터 유도하도록 구성되는 도파관 접합기(waveguide junction)(18)를 포함하며; 상기 도파관 접합기가 동조기에 연결되는 제 1 포트, 개별적인 마이크로파 플라즈마 반응기에 연결되는 제 2 포트와 제 3 포트, 및 마이크로파 흡수 장치(microwave sink)(20)에 연결되는 제 4 포트를 비롯한 4개의 도파관 포트를 포함하고; 상기 도파관 접합기가, 개별적인 마이크로파 플라즈마 반응기에 마이크로파 동력을 제공하기 위하여 제 1 포트를 통해 동조기로부터 들어오는 마이크로파 동력을 제 2 포트와 제 3 포트 사이에서 균일하게 분할하도록 구성되고; 상기 도파관 접합기가 제 2 포트와 제 3 포트를 분리함으로써, 마이크로파 플라즈마 반응기중 하나로부터의 임의의 반사된 마이크로파가 도파관 접합기를 가로질러 다른 마이크로파 플라즈마 반응기에 바로 공급되어 불균형을 야기하는 것을 방지하도록 구성되며; 상기 도파관 접합기가 또한 크기 및 상 면에서 균형을 이루는 제 2 포트 및 제 3 포트를 통해 되돌아온 반사된 마이크로파를 동조기로 보내어 이들이 동조기에 의해 반사되고 재사용될 수 있도록 추가로 구성되며; 상기 도파관 접합기가 균형을 이루지 않은 과량의 반사된 동력을 제 4 포트를 통해 마이크로파 흡수 장치로 공급하도록 추가로 구성되는 마이크로파 동력 전달 시스템.</p> |
