推算用多项式生成装置、推算装置、推算用多项式生成方法及推算方法

摘要

本发明提供推算用多项式生成装置、推算装置、推算用多项式生成方法及推算方法，推算用多项式生成装置具备：存储由输入参数的数据和输出参数的数据的组构成的分析用数据的分析用数据存储部(1)、存储对相似变换后的输入参数与输出参数的关系进行限定的函数曲面的算式的函数曲面存储部(2)、存储用于对输入参数和输出参数进行相似变换的相似变换算式的相似变换算式存储部(3)、使用分析用数据、函数曲面的算式和相似变换算式来搜索并确定相似变换算式的系数的相似变换参数搜索部(4)、将函数曲面的算式和确定了系数的相似变换算式合成，来计算出用于根据输入参数值推算输出参数值的推算用多项式的推算用多项式计算部(5)。

主权项

一种推算装置，其使用推算用多项式生成装置来推算状态量，该推算装置的特征在于：上述推算用多项式生成装置具备：分析用数据存储单元，其预先存储由作为输入参数的数据的在执行半导体制造装置的工序过程中能够测定的温度和作为与该输入参数的数据对应的输出参数的数据的在工序执行过程中无法测定的晶片或玻璃的表面温度的组构成的分析用数据；函数曲面存储单元，其预先存储对相似变换后的上述输入参数与上述输出参数之间的物理现象的关系进行限定的函数曲面的算式；相似变换算式存储单元，其预先存储用于对上述输入参数和上述输出参数进行相似变换的相似变换算式；相似变换参数搜索单元，其使用上述分析用数据、上述函数曲面的算式和上述相似变换算式，搜索并确定上述相似变换算式的系数；和推算用多项式计算单元，其将上述函数曲面的算式和确定了上述系数的相似变换算式合成来计算出用于根据输入参数值推算输出参数值的推算用多项式，上述推算装置具备：输入参数值取得单元，其取得输入参数值；和多项式推算运算单元，其使用上述推算用多项式生成装置的推算用多项式计算单元计算出的推算用多项式，根据上述输入参数值取得单元取得的输入参数值来推算作为上述状态量的输出参数值，上述相似变换参数搜索单元使用将上述相似变换算式代入上述函数曲面的算式而得到的搜索用算式，按每个分析用数据求出上述分析用数据的输出参数与将上述分析用数据代入上述搜索用算式而计算出的输出参数之间的误差，并以使得针对各个分析用数据求出的误差的累计值成为最小的方式搜索上述相似变换算式的系数。