| 发明名称 |
Einrichtung und Verfahren für das Erhöhen von Infrarotabsorption in Mems-Bolometern |
| 摘要 |
<p>Ein Halbleitersensor beinhaltet ein Substrat und einen Absorber. Das Substrat beinhaltet wenigstens eine reflektierende Komponente. Der Absorber ist von der wenigstens einen reflektierenden Komponente durch einen Abstand beabstandet. Der Absorber definiert eine Vielzahl von Öffnungen, wobei jede eine maximale Weite besitzt, welche geringer als oder gleich zu dem Abstand ist.</p> |
| 申请公布号 |
DE112013004113(T5) |
申请公布日期 |
2015.05.07 |
| 申请号 |
DE20131104113T |
申请日期 |
2013.08.22 |
| 申请人 |
O'BRIEN, GARY;ROBERT BOSCH GMBH;SAMARAO, ASHWIN |
发明人 |
SAMARAO, ASHWIN;O'BRIEN, GARY |
| 分类号 |
G01J5/20;G01J5/08 |
主分类号 |
G01J5/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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