| 主权项 |
一种电浆处理装置，具备：试料被电浆处理之真空容器、供给供以在前述真空容器内生成电浆用之第1高频电力的第1高频电源、配置于前述真空容器内并载置试料之试料台、对于前述试料台供给第2高频电力之第2高频电源、将数位信号转换成类比信号之D/A转换器、及将类比信号转换成数位信号之A/D转换器；该电浆处理装置之特征在于：前述D/A转换器，系将供以对于前述第1高频电力作时间调变用之预设的参数转换成：是与前述预设之参数对应的前述第1控制范围之值的第1类比值、及是与前述预设之参数对应且控制范围广于前述第1控制范围的前述第2控制范围之值的第2类比值；前述A/D转换器，系进一步具备：将从前述D/A转换器所传送之前述第1类比值与前述第2类比值分别转换成第1数位值与第2数位值，基于供以选择前述第1控制范围或前述第2控制范围用的信号而选择前述第1数位值或前述第2数位值之信号处理部；及将供以基于藉前述信号处理部而选择之第1数位值或第2数位值以对于前述第1高频电力作时间调变用的脉冲波形予以发生之脉冲产生器。
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