发明名称 拡散剤組成物および不純物拡散層の形成方法
摘要 A diffusing agent composition including a condensation product and an impurity diffusion component. The condensation product is a reaction product resulting from hydrolysis of an alkoxysilane. The impurity diffusion component is a monoester or diester of phosphoric acid, or a mixture thereof.
申请公布号 JP5666254(B2) 申请公布日期 2015.02.12
申请号 JP20100253234 申请日期 2010.11.11
申请人 東京応化工業株式会社 发明人 森田 敏郎;神園 喬
分类号 H01L21/225;C08K5/52;C08L83/04 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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