| 发明名称 | 紧密式安瓿热管理系统 | ||
| 摘要 | 在此提供用于热管理在基板处理中使用的前驱物的设备。在一些实施方式中，一种用于热管理在基板处理中使用的前驱物的设备可包括：主体，所述主体具有开口，所述开口依一定尺寸设计以接纳储存容器，所述储存容器内设置有液体或固体前驱物，所述主体由导热材料制造；一或多个热电装置，所述一或多个热电装置邻近所述开口而耦接至所述主体；以及散热体，所述散热体耦接至所述一或多个热电装置。 | ||
| 申请公布号 | CN104335326A | 申请公布日期 | 2015.02.04 |
| 申请号 | CN201380029684.1 | 申请日期 | 2013.06.05 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 戴维·K·卡尔森;埃罗尔·安东尼奥·C·桑切斯;肯里克·乔伊;玛塞勒·E·约瑟夫森;丹尼斯·德马斯;埃姆雷·库瓦利奇;穆罕默德·图格鲁利·萨姆特 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;赵静 |
| 主权项 | 一种用于热管理在基板处理中使用的前驱物的设备，包括：主体，所述主体具有开口，所述开口依一定尺寸设计以接纳储存容器，所述储存容器内设置有液体或固体前驱物，所述主体由导热材料制造；一或多个热电装置，所述一或多个热电装置邻近所述开口而耦接至所述主体；以及一或多个散热体，所述一或多个散热体耦接至所述一或多个热电装置。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||