发明名称 |
一种减压扩散炉炉口密封装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种减压扩散炉炉口密封装置。所述减压扩散炉炉口密封装置包括设置在炉门一端与石英管端面贴合的石英板,在石英板外侧设有背板,该背板与石英板之间为筒状外壳,在筒状外壳、背板和石英板围成的空间内填充有隔热元件;所述石英管管口套装有密封法兰,在密封法兰与背板内侧面之间设有一级密封结构,所述石英板与石英管端面形成二级密封;所述一级密封结构与外壳、密封法兰、背板内侧面之间形成过渡密封腔。本实用新型的装置形成一个过渡腔,在过渡腔内充保护气体,防止负压工艺污染。 |
申请公布号 |
CN204039548U |
申请公布日期 |
2014.12.24 |
申请号 |
CN201420406704.4 |
申请日期 |
2014.07.23 |
申请人 |
中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
发明人 |
刘良玉;黄志海;闫海莲;曹立雄;李旺鹏 |
分类号 |
C30B31/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B31/06(2006.01)I |
代理机构 |
长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 |
代理人 |
马强;李发军 |
主权项 |
一种减压扩散炉炉口密封装置,其特征在于,包括设置在炉门一端与石英管(15)端面贴合的石英板(8),在石英板(8)外侧设有背板(3),该背板(3)与石英板(8)之间为筒状外壳(2),在筒状外壳(2)、背板(3)和石英板(8)围成的空间内填充有隔热元件;所述石英管(15)管口套装有密封法兰(9),在密封法兰(9)与背板(3)内侧面之间设有一级密封结构,所述石英板(8)与石英管(15)端面形成二级密封;所述一级密封结构与外壳(2)、密封法兰(9)、背板(3)内侧面之间形成过渡密封腔(6)。 |
地址 |
410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号 |