RUTHENIUM PRECURSORS, PREPARATION METHOD THEREOF AND PROCESS FOR THE FORMATION OF THIN FILMS USING THE SAME
摘要
<p>본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 루테늄 전구체에 관한 것으로, 상기 루테늄 전구체는 열적 안정성과 휘발성이 향상되고, 박막 증착 시 산소를 사용하지 않아도 되는 장점이 있어 양질의 루테늄 박막을 형성할 수 있다. [화학식 1](상기 식에서, R1-R12는 각각 독립적으로 H이거나, C1-C4의 선형 또는 분지형 알킬기다.)</p>
