发明名称 制造太阳能电池之选择性发射级结构的方法及装置、太阳能电池;VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINER SELEKTIVEN EMITTERSTRUKTUR FUR EINE SOLARZELLE, SOLARZELLE
摘要 本发明涉及一种在太阳能电池(1)之有效面(3)制造选择性发射级结构(8)的方法,其中发射级结构(8)具有一个掺杂的发射级层(4)及多个设置在发射级层上的接触元件(5),尤其是接触指,其中发射级层(4)在接触元件(5)下方区域的掺杂度高于在接触元件(5)之间区域的掺杂度。本发明的方法具有以下的步骤:a)备妥具有整个被掺杂的发射级层的太阳能电池(1),b)在发射级层(4)上形成接触元件(5),c)对太阳能电池(1)的整个有效面(3)进行蚀刻处理,以降低发射级层(4)在接触元件(5)之间区域的掺杂度。此外,本发明的内容还包括一种装置及一种太阳能电池。
申请公布号 TW201442264 申请公布日期 2014.11.01
申请号 TW103104061 申请日期 2014.02.07
申请人 亚席斯自动化系统有限公司 发明人 汪卡 哈劳德
分类号 H01L31/042(2014.01);H01L31/18(2006.01) 主分类号 H01L31/042(2014.01)
代理机构 代理人 <name>林志刚</name>
主权项
地址 德国