感光性树脂组合物及其应用

摘要

本发明是有关一种感光性树脂组合物及其应用，所述感光性树脂组合物包含：碱可溶性树脂(A)；含乙烯性不饱和基的化合物(B)；光起始剂(C)；及溶剂(D)；该含乙烯性不饱和基的化合物(B)包含二恶烷类不饱和化合物(B-1)及下述结构式(2)所示的异氰脲酸酯类不饱和化合物(B-2)。其具有耐高温及耐高湿性的优点。本发明还提供一种于基板上形成薄膜的方法、一种基板上的薄膜及一种装置。

主权项

一种感光性树脂组合物，其包含：碱可溶性树脂(A)；含乙烯性不饱和基的化合物(B)；光起始剂(C)；及溶剂(D)；其中，该含乙烯性不饱和基的化合物(B)包含二恶烷类不饱和化合物(B‑1)及下述结构式(2)所示的异氰脲酸酯类不饱和化合物(B‑2)，且该二恶烷类不饱和化合物(B‑1)与该异氰脲酸酯类不饱和化合物(B‑2)的使用量重量比(B‑1)/(B‑2)自0.05至15；其中，该二恶烷类不饱和化合物(B‑1)包含如下结构式(1‑1)所示的具1，3‑二恶烷骨架的二恶烷类不饱和化合物及/或如下结构式(1‑2)所示的具1，3‑二恶戊烷骨架的二恶烷类不饱和化合物：其中：结构式(1‑1)中，R¹至R⁸各自独立代表氢原子或烃基，且R¹至R⁸中至少一个在其端部包含乙烯性不饱和基作为取代基；结构式(1‑2)中，R¹至R⁶各自独立代表氢原子或烃基，且R¹至R⁶中至少一个在其端部包含乙烯性不饱和基作为取代基；其中：X¹、X²及X³各自独立代表氢原子、(甲基)丙烯酰基或具有1至20个碳原子的烃基；且X¹、X²及X³中至少两个为(甲基)丙烯酰基；及R⁹、R¹⁰及R¹¹各自独立代表氧亚烷基。