| 主权项 |
一种微影装置，其包含：一照明系统，其经组态以调节一第一波长之一辐射光束；一支撑物，其经组态以支撑一图案化器件，该图案化器件经组态以将一图案赋予该辐射光束之横截面以形成该第一波长之一图案化辐射光束；一基板台，其经组态以固持一基板；一投影系统，其经组态以将该图案化辐射光束投影至该基板之一目标部分上，该投影系统包含一最终元件；及一基板位准感测器，其包含：一辐射接收器，其定位于该最终元件之一焦平面中；一透射性板，其经组态以在面向该投影系统之一侧处支撑该辐射接收器；一量子转换层，其经组态以吸收入射于该透射性板上之一第一波长之光及再辐射一第二波长之光；一光纤块，其包含复数个光纤；及一辐射侦测器，其中该复数个光纤经组态以朝向该辐射侦测器导引由该量子转换层再辐射之光。 |
