多晶硅还原尾气的处理系统

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅还原尾气的处理系统，该系统包括：除尘装置，该除尘装置用于将多晶硅还原尾气进行除尘处理，以便获得经过除尘的还原尾气；压缩装置，该压缩装置与除尘装置相连，用于将经过除尘的还原尾气进行压缩处理，以便获得压缩后气；冷却装置，将压缩后气经过一系列冷却装置，以便得到冷凝液和经过冷却处理的压缩后气，并且将后者冷却装置中所产生的冷凝液和经过冷却处理的压缩后气用于前者冷却装置中的冷却液或冷却气使用。根据本实用新型实施例的多晶硅还原尾气的处理系统可以节省大量的冷量，从而显著降低多晶硅还原尾气的处理成本和还原尾气对环境的污染。

主权项

一种多晶硅还原尾气的处理系统，其特征在于，包括：除尘装置，所述除尘装置用于将多晶硅还原尾气进行除尘处理，以便获得经过除尘的还原尾气；压缩装置，所述压缩装置与所述除尘装置相连，用于将所述经过除尘的还原尾气进行压缩处理，以便获得压缩后气；第一冷却装置，所述第一冷却装置与所述压缩装置相连且利用冷却水对所述压缩后气进行第一冷却处理，以便获得经过第一冷却处理的压缩后气和第一冷凝液；第二冷却装置，所述第二冷却装置与所述第一冷却装置相连，用于将所述经过第一冷却处理的压缩后气进行第二冷却处理，以便获得经过第二冷却处理的压缩后气和第二冷凝液；第三冷却装置，所述第三冷却装置与所述第二冷却装置相连，用于将所述经过第二冷却处理的压缩后气进行第三冷却处理，以便获得经过第三冷却处理的压缩后气和第三冷凝液；第四冷却装置，所述第四冷却装置与所述第三冷却装置相连，利用第一冷媒对所述经过第三冷却处理的压缩后气进行第四冷却处理，以便获得经过第四冷却处理的压缩后气和第四冷凝液；第五冷却装置，所述第五冷却装置与所述第四冷却装置相连，用于将所述经过第四冷却处理的压缩后气进行第五冷却处理，以便获得经过第五冷却处理的压缩后气和第五冷凝液；第六冷却装置，所述第六冷却装置与所述第五冷却装置相连且利用第二冷媒对所述经过第五冷却处理的压缩后气进行第六冷却处理，以便获得经过第六冷却处理的压缩后气和第六冷凝液，其中，将所述第三冷凝液、第四冷凝液、第五冷凝液和第六冷凝液与所述经过第一冷却处理的压缩后气在所述第二冷却装置中进行第一双效换热处理，以便进行所述第二冷却处理，并且获得经过第一双效换热处理的冷凝液；将所述经过第六冷却处理的压缩后气与所述经过第四冷却处理的压缩后气在所述第五冷却装置中进行第二双效换热处理，以便进行所述第五冷却处理，并且获得经过第二双效换热处理的压缩后气；以及将所述经过第二双效换热处理的压缩后气与所述经过第二冷却处理的压缩后气在所述第三冷却装置中进行第三双效换热处理，以便进行所述第三冷却处理，并且获得经过第三双效换热处理的压缩后气。