材料单一气体放气率的测试装置及方法

摘要

本发明涉及材料单一气体放气率的测试装置及方法，装置包括：第一真空室；第一测试室和第二测试室，相对于第一真空室对称的设置，分别与第一真空室连通；第二真空室，通过具有第一阀门的第一线路和第一测试室连接，通过具有第二阀门的第二线路和第二测试室连接；第一质谱仪和第二质谱仪，分别连通第一真空室和第一测试室。将待测材料放入第二真空室，抽真空；分别测量打开第一阀门，关闭第二阀门；关闭第一阀门，打开第二阀门时第一真空室和第一测试室的压强，取出待测材料，再测上述两种情况压强，计算各气体放气率。通过质谱仪可以检测出材料释放的各气体的成分并确定各气体的压强值，计算各气体的放气率，同时能够保证计算结果的准确性。

主权项

一种材料单一气体放气率的测试装置，其特征在于，包括：第一真空室；第一测试室和第二测试室，相对于所述第一真空室对称的设置，并分别与所述第一真空室连通；第二真空室，通过具有第一阀门的第一线路和所述第一测试室连接，所述第二真空室还通过具有第二阀门的第二线路和所述第二测试室连接；第一质谱仪和第二质谱仪，分别连通所述第一真空室和第一测试室。