13族元素氮化物膜的剥离方法

摘要

在晶种基板11的培养面上，通过助熔剂法，从含有助熔剂以及13族元素的熔液，在含氮气氛下设置13族元素氮化物膜3。在13族元素氮化物膜3的自晶种基板11侧的界面11a起50μm以下的区域，设置有分布了来自熔液成分的夹杂物的夹杂物分布层3a，在夹杂物分布层3a上，设置有夹杂物很少的夹杂物缺乏层3b。从晶种基板11的背面1b侧照射激光A，通过激光剥离法，将13族元素氮化物单晶3从晶种基板11剥离。

主权项

一种13族元素氮化物膜的剥离方法，是对于在晶种基板上设有13族元素氮化物膜的层积体，从所述晶种基板的背面一侧照射激光，通过激光剥离法，将所述13族元素氮化物膜从所述晶种基板剥离的方法，所述13族元素氮化物膜是在晶种基板上，通过助熔剂法，由含有助熔剂以及13族元素的熔液，在含氮气氛下培养而成；其特征在于，所述13族元素氮化物膜含有：设置在所述13族元素氮化物膜的自所述晶种基板一侧的界面起50μm以下的区域、分布有来自所述熔液成分的夹杂物的夹杂物分布层，以及设置在该夹杂物分布层上、所述夹杂物很少的夹杂物缺乏层。