含粒子之光阻剥离液及使用它之剥离方法

摘要

本发明之课题在于提供一种具优越剥离性的光阻剥离液。另外，提供一种具优越之光阻剥离性，不会损伤电路构造的光阻剥离方法。;而用以解决问题之手段为一种具优越剥离性之光阻剥离液，其系含有一次粒径为5~1,000 nm之粒子、及由胺化合物与伸烷二醇类所构成族群中所选出之至少一种化合物；及一种使用该光阻剥离液之光阻剥离方法，其系不含灰化处理之步骤，具优越之剥离性、不会损伤电路构造。