摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einen Temperatursensor, insbesondere Hochtemperatursensor, umfassend ein Substrat, zumindest zwei Anschlusskontakte und zumindest eine Widerstandsstruktur, wobei die Anschlusskontakte und die zumindest eine Widerstandsstruktur auf einer ersten Seite des Substrats angeordnet sind und wobei zumindest eine der Widerstandsstrukturen durch die Anschlusskontakte elektrisch kontaktiert ist, wobei an beiden Anschlusskontakten jeweils zumindest eine Elektrode neben der Widerstandsstruktur auf der ersten Seite des Substrats angeordnet ist, die elektrisch mit dem jeweiligen Anschlusskontakt verbunden sind oder zumindest an einem Anschlusskontakt zumindest eine Elektrode neben der Widerstandsstruktur auf der ersten Seite des Substrats angeordnet ist, wobei die Elektrode oder die Elektroden einteilig mit der Widerstandsstruktur ausgebildet ist oder sind. Die Erfindung betrifft auch einen Hochtemperatursensor umfassend einen solchen Temperatursensor. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Temperatursensors, bei dem zumindest eine Widerstandsstruktur auf einer ersten Seite eines Substrats aufgebracht wird, wobei eine vorzugsweise metallische Beschichtung auf dem Substrat derart aufgebracht wird, dass die Beschichtung die zumindest eine Widerstandsstruktur, zumindest zwei Anschlusskontakte und zumindest eine Elektrode bildet, so dass die Anschlusskontakte die zumindest eine Widerstandsstruktur elektrisch kontaktieren und zumindest eine Elektrode mit zumindest einem Anschlusskontakt elektrisch kontaktieren.</p> |