| 摘要 |
Устройство для контроля качества поверхности полупроводниковых подложек, содержащее смонтированный на станине предметный столик, расположенные на одной оптической оси лазер, коллиматор и полупрозрачное зеркало, видикон и видеоконтрольное устройство, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и улучшения качества контроля, оно дополнительно снабжено механизмом разделения потоков, состоящим из штыревых фиксаторов, пневматического сопла и светочувствительных датчиков положения полупроводниковой подложки, блоком импульсов запуска, генератором развертки, ключом, видеоусилителем, первым компаратором, задатчиком уровня срабатывания первого компаратора, первым счетным устройством, первым генератором прямоугольных импульсов, счетным устройством числа строк, вторым счетным устройством, вторым компаратором, задатчиком уровня срабатывания второго компаратора, вторым генератором прямоугольных импульсов, первым блоком цифровой индикации, устройством сравнения, цифровым задатчиком, вторым блоком цифровой индикации, устройством сравнения, первым усилителем мощности, первым исполнительным устройством, вторым усилителем мощности, вторым исполнительным устройством, при этом светочувствительные датчики положения полупроводниковой подложки соединены с входами блока импульсов запуска, выход которого соединен с лазером, первым входом генератора развертки и первым входом ключа, а к выходу видикона подключен видеоусилитель, выход которого соединен с первым входом первого компаратора, второй вход которого соединен с выходом задатчика уровня срабатывания первого компаратора, выход первого � |
