片式宽域氧传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种片式宽域氧传感器及其制作方法，它包括从上自下依次叠放的第一氧化锆固体电解质基片、第二氧化锆固体电解质基片和氧化锆基板，其中，第二氧化锆固体电解质基片中设置有通过尾气扩散通道与尾气进口连通的测试腔和参比腔，参比腔内填充有氧化铝浆料，第一氧化锆固体电解质基片的下表面安装有泵电池内电极、测量电极以及参比内电极，第一氧化锆固体电解质基片的上表面安装有泵电池外电极和参比外电极。本发明的有益效果是：采取流延加工成型，然后裁片，接着丝网印刷、叠压、烧结，提高了传感器的加热效率和启动速度，减少了次品率和使用成本，同时了增加宽域氧传感器的精确性。

主权项

一种片式宽域氧传感器，其特征在于：它包括从上自下依次叠放的第一氧化锆固体电解质基片（6）、第二氧化锆固体电解质基片（7）和氧化锆基板（8），其中，第二氧化锆固体电解质基片（7）中设置有通过尾气扩散通道（11）与尾气进口连通的测试腔（71）和参比腔（72），参比腔（72）内填充有氧化铝浆料（73），第一氧化锆固体电解质基片（6）的下表面安装有泵电池内电极（2）、测量电极（3）以及参比内电极（4），第一氧化锆固体电解质基片（6）的上表面安装有泵电池外电极（1）和参比外电极（5），氧化锆基板（8）上设置有加热电极（9）和绝缘层（10），泵电池内电极（2）和测量电极（3）位于测试腔（71）中，参比内电极（4）位于参比腔（72）中，其中，泵电池外电极（1）、泵电池内电极（2）以及第一氧化锆固体电解质基片（6）构成泵电池，参比内电极（4）、参比外电极（5）以及第一氧化锆固体电解质基片（6）构成参比电池，参比内电极（4）、测量电极（3）以及第二氧化锆固体电解质基片（7）构成测量电池。