| 摘要 |
本发明系具备：天花板部形成开口，内部可真空吸引之处理容器；配设于前述处理容器内，用以载置被处理体之载置台；气密地装设于前述天花板部之开口，由透射微波之电介质所构成之天板；配设于前述天板之上面，用以将微波导入前述处理容器内之平面天线构件；以及连结于前述平面天线构件之中心部，具有中心导体，用以供应微波之同轴导波管；之电浆处理装置，其特征为，以贯通前述中心导体及前述平面天线构件之中心部及前述天板之中心部之方式形成气体通路，于前述天板之中心区域之上面侧，配设着用以衰减该天板之中心部之电场强度之电场衰减用凹部。 |
