发明名称 |
基板收纳容器 |
摘要 |
[课题]提供一种基板收纳容器,可达到轻量化之同时又可抑制尘埃的产生。;[解决手段]在基板收纳用的收纳体51上,在上下方向上设有可任意进出地载置支持基板的复数个基板支持部52,基板支持部52中,在基板进出方向上设置有复数个支持用旋转轴53,可绕沿着与基板进出方向正交或略正交的收纳体横宽方向上的轴心旋转,沿着基板进出方向延伸的状态下配置的连动用旋转轴54分别与该等复数个支持用旋转轴53连动连结,使得藉由绕着沿其长度方向延伸的轴芯旋转,使基板支持部52中的复数个支持用旋转轴53分别旋转,在连动用旋转轴54中的基板进出方向的端部设有磁气式的从动旋转体65。 |
申请公布号 |
TWI406800 |
申请公布日期 |
2013.09.01 |
申请号 |
TW098114806 |
申请日期 |
2009.05.05 |
申请人 |
台湾大福高科技设备股份有限公司 台南市新市区台南科学工业园区大业一路7号;大福股份有限公司 日本 |
发明人 |
杨孟恩;市野清秀 |
分类号 |
B65G1/20;B65G49/06;H01L21/673;B65D85/48;B65G13/00;B65G35/00 |
主分类号 |
B65G1/20 |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
主权项 |
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地址 |
日本 |