采用等温、低压等离子沉积技术制作光纤的方法

摘要

开发了一种在基管内沉积材料的基于等温、低压的方法，该方法尤其有助于形成光纤预成形件，其形成极窄的反应区，在该反应区内发生更均匀、有效的沉积。已经发现多组等温等离子操作条件，其能产生狭窄的沉积区，保证沉积的材料是透明玻璃而不是烟灰微粒。基管的排出端与真空系统连接，真空系统依次与用于移除和中和反应副产品的洗涤器装置连接。这样选择操作条件，使得热的等离子不会将大量的热量传递至基管，已经发现，基管内这种热量的存在会使反应物材料蒸发(生成烟灰)，并形成热点。

主权项

一种在基管的内壁上沉积材料的方法，该方法包括如下步骤：在等离子产生器的谐振线圈内设置硅基管；通过所述基管的第一、输送端提供至少一种化学反应物；将所述基管内的内部压力保持为小于大气压；激励所述谐振线圈，以在所述基管内产生相同温度的离子和电子的等温等离子，以及加热所述基管的内壁；以及使所述至少一种化学反应物的反应产物沉积于所述基管的内壁上的、产生的等温等离子上游的仅狭窄区域内，所述狭窄区域属于所述基管长度的1％的一类。