一种具有双旋转机构的OLED镀膜机

摘要

本发明提供了一种具有双旋转机构的OLED镀膜机。所述双旋转机构组成的OLED镀膜机包括机架、真空室及真空室内部配置的双旋转机构、多个钼舟和驱动双旋转机构的动力系统、钼舟通电加热系统、真空抽气系统、真空室加热系统以及由双旋转机构转速指示和控制、真空抽气系统指示和控制、钼舟通电加热指示和控制、膜层厚度指示和控制、真空室温度指示和控制、总电源指示和控制等子系统组成的仪表柜；其中双旋转机构由位于真空室内上部旋转锅形支架和位于真空室中下部的旋转筒形支架及气体扰动均化机构组成，所述旋转锅形支架和旋转筒形支架均设置有用于固定被蒸镀工件的机构，方便工件的装卸。

主权项

一种具有双旋转机构的OLED镀膜机，包括机架、真空室、多个钼舟、动力系统、钼舟通电加热系统、真空抽气系统、真空室加热系统以及仪表柜，仪表柜中包括双旋转机构转速指示和控制系统、真空抽气系统指示和控制系统、钼舟通电加热指示和控制系统、膜层厚度指示和控制系统、真空室温度指示和控制系统、总电源指示和控制系统；其特征在于：真空室内部配置有双旋转机构，所述双旋转机构由位于真空室内上部的旋转锅形支架和位于真空室中下部的旋转筒形支架组成，所述旋转锅形支架和旋转筒形支架均设置有用于固定被蒸镀工件的机构。