一种钇钡铜氧靶材的制造方法

摘要

本发明涉及一种钇钡铜氧靶材的制造方法，其包括：（1）将Y2O3、BaO、CuO按一定比例（原子比比例为Y∶Ba∶Cu=1∶2∶3）混合均匀得混合粉末，Y2O3、BaO及CuO的一次粒度为100～300nm，纯度大于99.9wt%；（2）对混合粉末进行四柱液压机冷压压制成型，冷压压力为200～300MPa；（3）将混合体放入氧气常压烧结炉中，在800～950℃下烧结，烧结完毕，冷却到常温取出，破碎成-300目的粉末；（4）将粉末用四柱液压机冷压压制成型为坯件，冷压压力为30～50MPa；（5）对坯件进行冷等静压加工，压力为200～300MPa；（6）将坯件置于炉中进行烧结。本发明制造出的钇钡铜氧靶材，其晶粒尺寸细小且致密度高。

主权项

一种钇钡铜氧靶材的制备方法，其特征在于：包括依次进行的以下步骤：（1）、将Y2O3、BaO、CuO按原子比比例Y:Ba:Cu=1:2:3混合均匀得混合粉末，Y2O3、BaO及CuO的一次粒度为100~300nm，纯度大于99.9wt%；（2）、对混合粉末进行四柱液压机冷压压制成型，冷压压力为200~250MPa；（3）、将冷压后的混合体放入氧气常压烧结炉中，在850~900℃下烧结，烧结时间为12~20小时，烧结完毕，冷却到常温取出，破碎成‑300目，即得钇钡铜氧超导相粉末；（4）、将钇钡铜氧超导相粉末四柱液压机冷压压制成型为坯件，冷压压力为30~50MPa；（5）、对坯件进行冷等静压加工，压力为200~300MPa；（6）、将坯件置于炉中进行烧结，烧结时，炉内真空度为10‑4~10‑3Pa，首先以100~200℃/h的速率将温度升至600℃~800℃，保温4~24小时后，充入氧气，然后再以150~250℃/h的速率将温度升至850℃~950℃，保温4~24小时后降至常温，即得所述钇钡铜氧靶材，降温速率为20~50℃/h。