用于光侦测的仪器和方法

摘要

本发明涉及侦测仪器和方法，其使用部分剪切光学干涉仪器来侦测靶试样探针体积阵列相比于参考样品探针体积的阵列的光学性质。该仪器产生格式化探针波束，其含有部分剪切的波束对，该波束对被格式化为完全剪切探针波束对的阵列。靶试样探针体积和参考样品探针体积被适当地组织并暴露于完全剪切探针波束对的阵列。

主权项

一种用于侦测靶试样探针体积的方法，包括：分开并剪切光源波束，以产生包含第一探针波束和第二探针波束的格式化光束，其中，所述第一探针波束和所述第二探针波束部分地重叠；将至少一个靶试样探针体积和至少一个参考样品探针体积暴露于所述格式化光束；合并所述第一探针波束和所述第二探针波束，以产生合并光束；和检测所述合并光束中的干涉图案。