| 发明名称 | 具有精密位置测量的移位装置 | ||
| 摘要 | 一种具有精密测量的移位装置，移位装置用于支承工件，其包括：光传感器(52)；支承板(54)，其限定支承板孔口(56)；平面电机(58)，其平行于该支承板(54)安置，该平面电机(58)具有可通过操作以支承该工件(40)的第一侧(60)和与该支承板(54)相对的第二侧(62)；以及，安置于该平面电机(58)上的二维光栅(68)，该二维光栅(68)通过该支承板孔口(56)与所述光传感器(52)光通信。 | ||
| 申请公布号 | CN101828149B | 申请公布日期 | 2013.03.27 |
| 申请号 | CN200880111964.6 | 申请日期 | 2008.10.17 |
| 申请人 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 发明人 | P·C·M·弗里森;R·G·克拉弗 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;G01D5/38(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 景军平;谭祐祥 |
| 主权项 | 一种用于支承工件的移位装置，包括：光传感器(52)；支承板(54)，其限定支承板孔口(56)；平面电机(58)，其平行于所述支承板(54)安置，所述平面电机(58)具有可通过操作以支承所述工件(40)的第一侧(60)和与所述支承板(54)相对的第二侧(62)；以及二维光栅(68)，其安置于所述平面电机(58)的所述第二侧上，所述二维光栅(68)通过所述支承板孔口(56)与所述光传感器(52)光通信，其中，在操作中，所述光传感器(52)位于横过所述平面电机(58)的所述工件(40)上的工作点(70)的对面。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||