基于MEMS微镜阵列的二元相位调制器

摘要

本发明涉及激光显示技术领域，具体为一种用于激光散斑抑制的二元相位调制器，解决了现有的基于微镜阵列的相位调制器必须依赖数量庞大的CMOS寄存器进行独立控制的问题。一种基于MEMS微镜阵列的二元相位调制器，包括绝缘衬底，所述绝缘衬底上集成有微镜阵列，所述每个微镜由设有阻止栓的下微镜和上微镜组成，所有下微镜呈对角线方向连接后形成平行的下微镜电极组，所述下微镜电极组内的每个下微镜电极与一个提供随机变化电压信号的信号源连接；所有上微镜呈对角线方向连接后形成平行的上微镜电极组，所述上微镜电极组内的每个上微镜电极与一个提供随机变化电压信号的信号源连接。本发明设计合理，有效消除了激光散斑。

主权项

一种基于MEMS微镜阵列的二元相位调制器，包括绝缘衬底（14），所述绝缘衬底（14）上集成有微镜阵列，所述每个微镜由设有阻止栓（15）的下微镜和上微镜组成，其特征在于：所有下微镜呈对角线方向连接后形成平行的下微镜电极组，所述下微镜电极组内的每个下微镜电极与一个提供随机变化电压信号的信号源连接；所有上微镜呈对角线方向连接后形成平行的上微镜电极组，所述上微镜电极组内的每个上微镜电极与一个提供随机变化电压信号的信号源连接；所述上、下微镜电极组正交、且交点处由绝缘层间隔；当外部显示面板上的图像信息成像于所述微镜阵列上时，所述显示面板上的每一像素单元均对应于微镜阵列上相应的固定区域，所述固定区域内包含有阵列为N×N的微镜单元组，即显示面板上的每一像素单元在所述微镜阵列上被相同地分割成阵列为N×N的微镜单元组，所述N是非零的正整数；在所述每个阵列为N×N的微镜单元组内，微镜在各自电压信号源提供的随机变化电压信号控制下，使得入射于其上的相干光的相位发生改变。