制作薄膜电子元件的线上制程

摘要

描述的是在一基板上制造薄膜电子元件的线上制程，包含以下步骤：a)将可结构化层沈积在基板上；b)以第一图案将可图案化材料沈积至可结构化层上；c)在可图案化材料所未覆盖的区域，蚀刻可结构化层。这些步骤在执行过程中都未将基板曝露在周围空气中。