LASER HEAD

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur wärme- und flüssigkeitsbasierten Behandlung eines Werkstücks. Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte: - Eingeben von Flüssigkeit (F) durch einen in einem Nassbereich (4) angeordneten Flüssigkeitszuführbereich (6); - Erzeugen eines Flüssigkeitsstrahles durch Ausgeben der Flüssigkeit (F) durch eine ebenfalls im Nassbereich (4) angeordnete Düse (7) in Richtung der Werkstückoberfläche (2'); - Einstrahlen eines fokussierten Laserstrahls (L) von einem Trockenbereich (5) aus durch eine den Trockenbereich (5) vom Nassbereich (4) trennende transparente Trennschicht (8) hindurch in die Düse (7) in Richtung der Werkstückoberfläche (2'); - Einstellen des Bearbeitungsabstandes (3) zwischen Werkzeugkopf (1) und Werkstückoberfläche (2'); wobei der Flüssigkeitsstrahl auf einem ersten Abschnitt seiner gesamten Länge von der Düse (7) umschlossen ist, und der Bearbeitungsabstand (3) derart eingestellt wird, dass sich zwischen Düsen-Stirnfläche (7') und Werkstückoberfläche (2') ein Bearbeitungsspalt (3') bildet, welcher zumindest im Bereich des mindestens einen Laserstrahls (L) mit einem Flüssigkeitsfilm (F') ausgefüllt ist, so dass der Flüssigkeitsstrahl auf seinem restlichen Abschnitt von diesem Flüssigkeitsfilm (F') umgeben und geschützt ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Bearbeitungsabstand (3) über den Druck der Flüssigkeit (F) reguliert wird.