具有聚合性阴离子之盐及高分子化合物、光阻材料及图型之形成方法

摘要

一种可感应高能量线或热而发生通式(1a)所表示之重复单位之磺酸的高分子化合物，;【化1】;(1a);(R1为氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基。);本发明之具有聚合性阴离子之鋶盐，于经由高能量线照射而发生酸之情形中，可生成非常强之磺酸，故可有效率地切断增强化学型光阻材料中之酸不稳定基，故非常适合制造作为感放射线光阻材料之基础树脂的单体。又，使用本发明之高分子化合物作为感放射线光阻材料之基础树脂使用时，可得到优良之高解析性与粗密依存性及曝光宽容度，故使用该高分子化合物作为光阻材料时，对于精密之微细加工极为有效。