发明名称 | 一种椭圆偏振仪的校准方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种对椭偏测量系统中椭圆偏振仪的偏振角度、光入射角度的校准方法,属于光学测量仪器技术领域。该方法根据傅里叶系数,参考样品光学常数,椭圆偏振仪的工作参数的关系式,通过最小二乘法进行拟合,得到椭圆偏振仪的工作参数的校正值。该方法能够对椭圆偏振仪中包括起偏器、检偏器的偏振方向,以及光入射角度在内的系统参数进行校准,校准过程简单、准确,校准完成后,无需调整系统部件即可直接进行测量,从而简化测量过程、提高测量精度。 | ||
申请公布号 | CN102879337A | 申请公布日期 | 2013.01.16 |
申请号 | CN201210375771.X | 申请日期 | 2012.09.29 |
申请人 | 中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司 | 发明人 | 徐鹏;刘涛;王林梓;刘健鹏;李国光 |
分类号 | G01N21/21(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/21(2006.01)I |
代理机构 | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人 | 刘丽君 |
主权项 | 一种椭圆偏振仪的校准方法,其特征在于,包括以下步骤:装载已知光学常数的参考样品;固定检偏器的透振方向,并匀速旋转起偏器,或者,固定起偏器的透振方向,并匀速旋转检偏器,采用椭圆偏振法测量参考样品,得到光强曲线Ii(t);对所述光强曲线Ii(t)进行傅里叶展开或拟合,得到相应的实验傅里叶系数;根据所述实验傅里叶系数,光学常数,和推导得到理论傅里叶系数与椭圆偏振仪的工作参数之间的关系式,通过最小二乘法进行拟合,得到椭圆偏振仪的工作参数的校正值。 | ||
地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |