发明名称 |
动态随机存取存储器及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种动态随机存取存储器及其制造方法,上述动态随机存取存储器包括一埋藏位线,设置于一基板内沿一第一方向延伸的一第一沟槽的下部中;一对埋藏字元线,分别设置于上述基板内沿一第二方向延伸的一第二沟槽的一对侧壁上;一辅助字元线,沿上述第一方向设置于平行于上述埋藏位线的一另一埋藏位线的上方,且与上述另一埋藏位线隔绝,其中上述辅助字元线的两端分别连接上述对埋藏字元线。 |
申请公布号 |
CN102881690A |
申请公布日期 |
2013.01.16 |
申请号 |
CN201110196006.7 |
申请日期 |
2011.07.13 |
申请人 |
华邦电子股份有限公司 |
发明人 |
郭泽绵 |
分类号 |
H01L27/108(2006.01)I;H01L21/8242(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/108(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
任默闻 |
主权项 |
一种动态随机存取存储器,其特征在于,所述的动态随机存取存储器包括:一埋藏位线,分别设置于一基板内沿一第一方向延伸的一第一沟槽的下部中;一对埋藏字元线,分别设置于所述的基板内沿一第二方向延伸的一第二沟槽的一对侧壁上;以及一辅助字元线,沿所述的第一方向设置于平行于所述的埋藏位线的一另一埋藏位线的上方,且与所述的另一埋藏位线隔绝,其中所述的辅助字元线的两端分别连接所述的对埋藏字元线。 |
地址 |
中国台湾台中市 |