Ladungsteilchenmikroskop

摘要

Das Rasterladungsteilchenmikroskop umfaßt eine Gasfeldionisations-Ionenquelle (1); eine Fokussierlinse (5) zum Beschleunigen und Fokussieren der von der Ionenquelle abgegebenen Iönen; eine bewegliche erste Blende (6) zum Begrenzen des Ionenstrahls, der die Fokussierlinse durchlaufen hat; einen ersten Deflektor (35) zum Auslenken oder Ausrichten des Ionenstrahls, der die erste Blende durchlaufen hat; einen zweiten Deflektor (7) zum Auslenken des Ionenstrahls, der die erste Blende durchlaufen hat; eine zweite Blende (36) zum Begrenzen des Ionenstrahls, der die erste Blende durchlaufen hat; eine Objektivlinse (8) zum Fokussieren des Ionenstrahls, der die erste Blende durchlaufen hat, auf eine Probe; und eine Einrichtung zum Messen eines Signals, das im wesentlichen proportional zum Strom des Ionenstrahls durch die zweite Blende ist.